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探测装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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探测装置.pdf

    本创作提供了一种探测装置，其包括探针卡、与探针卡互相接合的探针器，及支持器。探针卡包括基板、凸出单元及多个探针。基板具有第一表面及第二表面，该第二表面相对于该第一表面。凸出单元设置于该基板的该第一表面上。该多个探针，其设置于该基板的该第二表面，并从该基板的该第二表面凸出。探针器包括板体、杆件及容纳单元。板体包括通孔，而杆件是横跨该通孔。容纳单元设置于该杆件，且配置为可容纳该凸出单元，以使该探针卡及该探针器互相接合。支持器设置于该探针卡的该第二表面及该探针器之间，其包括传感器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215728605 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202120222840.8 (22)申请日 2021.01.27 (30)优先权数据

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