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一种芯片检测装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种芯片检测装置.pdf

    本申请公开了一种芯片检测装置。该芯片检测装置包括：承载件，用于承载待测芯片的底面；检测组件，用于从待测芯片的底面和顶面的一侧获取待测芯片的各待测面的影像；反射件，设置于待测芯片的一侧，用于将待测芯片的侧面的影像反射至检测组件。通过检测组件和反射件对承载于承载件上的待测芯片的各待测面进行无接触目检，本申请提供芯片检测装置能够有效降低芯片在检测过程中受损的风险，并可有效地提升芯片的良率和检测效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215695989 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121788260.1 (22)申请日 2021.08.02 (73)专利权人 深圳瑞波光电子有限公司

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