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一种气敏传感器.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种气敏传感器.pdf

    本实用新型提供一种气敏传感器，该气敏传感器包括基板、器件层、导电柱和气敏模块；所述基板的第一表面设置有电路；所述器件层和所述导电柱均位于所述基板的第一表面上，所述器件层和所述导电柱均与所述电路电连接；所述导电柱的高度大于所述器件层的厚度；所述气敏模块位于所述导电柱远离所述基板的一侧，所述气敏模块与所述导电柱电连接，所述气敏模块用于检测气体的性能。本实用新型实施例提供的气敏传感器，可以减小气敏传感器的体积，提高气敏传感器的集成度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215727852 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121881720.5 (22)申请日 2021.08.12 (73)专利权人 湖南越摩先进半导体有限公司

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