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一种气相沉积炉盖的密封结构.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种气相沉积炉盖的密封结构.pdf

    本实用新型公开了一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体，其特征在于，所述沉积炉盖本体包括盖板，所述盖板的底部还设有安装结构，所述安装结构上卡接有密封结构，所述密封结构包括密封基体，所述密封基体内设有隔音层，所述隔音层内填充有隔音棉，所述密封基体内还设有缓冲层，所述缓冲层内固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别固定在密封基体上。本实用新型解决了目前密封结构长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668194 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122309460.0 (22)申请日 2021.09.24 (73)专利权人 江西昊军智能装备有限公司

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