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- 2023-04-15 发布于北京
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本实用新型提供一种坩埚可调节板组件，所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元，所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部，所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连，所述夹持部侧壁设置有至少一个开口，所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。所述坩埚可调节板组件可按使用需求调整高度，适用范围广，成本低，可以适用于多种工况。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713334 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121443502.3
(22)申请日 2021.06.28
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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