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氮化镓温度传感器.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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氮化镓温度传感器.pdf

    本实用新型公开了氮化镓温度传感器。该氮化镓温度传感器包括氮化镓层、隧穿层、阴极和阳极，所述隧穿层设在所述氮化镓层的至少一部分表面上，所述隧穿层上设有电极孔；所述阴极设在所述电极孔中并与所述氮化镓层接触；所述阳极设在所述隧穿层的部分表面上，所述阳极不与所述阴极接触。该温度传感器采用金属‑隧穿层‑氮化镓新型结构，利用载流子在受热激发后隧穿通过隧穿层的概率增大的原理，即热致隧穿效应，通过检测隧穿电流的大小实现对温度的检测和传感，具有耐高温、高线性度和高灵敏度的优势，可以更好的满足大功率、高温等应用场景

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215677324 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122311261.3 (22)申请日 2021.09.23 (73)专利权人 清华大学 地址 1

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