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- 2023-04-15 发布于北京
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本申请提供一种硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统，涉及晶硅片生产领域。硅片花篮包括两个端板及插片杆，每个端板设有第一孔洞单元，第一孔洞单元的数量为至少两个，每个第一孔洞单元包括两组孔洞组，每组孔洞组包括沿第二方向布置的至少两个第一孔洞，两组孔洞组平行且间隔布置在端板在第一方向的两侧端，两组孔洞组之间形成用于放置硅片的安装间隙，插片杆用于穿设于第一孔洞且可拆卸连接两个端板，插片杆沿其轴向设有至少两个间隔布置的插槽，进而实现通过快速更换插片杆实现硅片花篮适应不同尺寸的硅片，使用方便，提高了硅片花篮使用率
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215731618 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121451726.9
(22)申请日 2021.06.28
(73)专利权人 通合新能源（金堂）有限公司
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