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一种激光刻蚀精密对位平台.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种激光刻蚀精密对位平台.pdf

    本实用新型提供一种激光刻蚀精密对位平台，包括平台，所述平台固定设置在Z轴移动台上，所述Z轴移动台上设有X轴直线电机，所述平台在Z轴移动台上沿着X轴方向移动，所述Z轴移动台的侧边固定在Y轴移动台上，所述Z轴移动台沿着Y轴移动台的竖直板沿着Z轴方向移动，所述Y轴移动台的竖直板上设有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠通过从动轮连接Z轴伺服电机，所述Z轴移动台通过螺母沿着滚珠丝杠上下移动，所述Y轴移动台的水平板底部设有Y轴直线电机，所述Y轴移动台底部设有Y轴滑轨进行Y轴方向移动，平台XYZ方向导向,平台运行速度快,

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215698884 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202022834427.5 (22)申请日 2020.12.01 (73)专利权人 无锡旭电科技有限公司

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