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- 2023-04-16 发布于北京
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本实用新型公开了一种研磨机空气主轴装置,包括底座,所述底座的顶部设有调节机构以及空气主轴机构,所述调节机构包括垂向U形立板、垂向丝杆、垂向固定座、垂向伺服减速电机、水平丝杆、水平固定座以及水平伺服减速电机,所述空气主轴机构包括矩形面板、紧固套接在空气主轴外侧面的两个抱箍、设于空气主轴壳体外侧面的螺纹套壳、矩形限位板、与螺纹套壳上的凹面部相配合卡接的卡接凸起以及插接设于相邻两个矩形限位板内侧且与螺纹套壳上的凹面部相配合抵顶的弹性插接板。本实用新型便于对于空气主轴进行上下调节,使得上下调节后的研磨头
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215700808 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122307882.4
(22)申请日 2021.09.23
(73)专利权人 苏州翠竹半导体有限公司
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