一种多晶硅膜的风干装置.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种多晶硅膜的风干装置.pdf

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本实用新型涉及一种多晶硅膜的风干装置，所述多晶硅膜的风干装置包括湿段和干段；所述湿段和干段之间由挡板隔开；以多晶硅膜的插入位置为界限，所述挡板上并列设置有上风刀和下风刀；所述上风刀上方的挡板上设置有通孔；所述通孔的湿段一侧相对设置有阻隔板；所述干段设置有风机过滤组装置；所述湿段按照多晶硅膜的插入位置划分为两个区域，且两个区域均设置有排气孔。本实用新型所述风干装置风干后的多晶硅膜亮点聚集发生率低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215724951 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122286789.X (22)申请日 2021.09.22 (73)专利权人上海和辉光电股份有限公司