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- 2023-04-17 发布于北京
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本实用新型属于抛光液设备技术领域，尤其为一种抛光液供给设备，包括供给箱，供给箱上端一侧设置有输液入口，供给箱内侧壁设置有保护膜，保护膜与供给箱固定连接，供给箱内部一侧设置有充压设备，充压设备与供给箱固定安装，充压设备一端设置有充气口，充气口一侧设置有压力传感器，压力传感器与供给箱固定安装，压力传感器与充压设备电性连接，供给箱底部一侧设置有连接管道，连接管道与供给箱固定连接，连接管道远离供给箱的一端设置有供给主体，供给主体与连接管道固定连接。本实用新型通过设置保护膜、充压设备、压力传感器，提高了本
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218658467 U
(45)授权公告日 2023.03.21
(21)申请号 202222737752.9
(22)申请日 2022.10.18
(73)专利权人 南京亨瑞光电科技有限公司
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