一种半导体探针测试台.pdfVIP

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  • 2023-04-17 发布于四川
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本实用新型涉及探针测试台技术领域,具体为一种半导体探针测试台,探针台下方设有底座,底座内设有用于带动探针台旋转的旋转组件、用于驱动旋转组件旋转的驱动组件以及用于带动探针台升降的升降组件。通过电机驱动主动齿轮转动,再利用主动齿轮带动从动齿轮转动,这样从动齿轮通过轴杆带动转盘转动,可使转盘利用底缸和滑杆带动探针台旋转调节朝向,探针台旋转调节后,不妨碍探针台的升降调节,而通过电动推杆使插块插入环形滑道,圆板滑入外限位环与内限位环之间,可以将探针台顶起进行升降调节,并且升降调节后,还不妨碍探针台旋转调节

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215812867 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202120923334.1 (22)申请日 2021.04.29 (73)专利权人 尚雅派斯科技(无锡)有限公司

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