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一种具有废气处理装置的MOCVD设备.pdfVIP

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  • 2023-04-18 发布于北京
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一种具有废气处理装置的MOCVD设备.pdf

    本实用新型公开了一种具有废气处理装置的MOCVD设备，包括：第一净化筒、遮挡机构和第二净化筒；第一净化筒上安装有若干喷洒嘴，第一净化筒内设有第一支撑板，第一支撑板与第一净化筒之间形成有储液池；遮挡机构设于第一净化筒内，遮挡机构包括加热装置，加热装置安装于第一支撑板上；第二净化筒设于第一净化筒的一侧，第二净化筒与第一净化筒之间连接有连接管，第二净化筒上安装有输气管，第二净化筒上设有排气管。本实用新型通过对现有MOCVD设备尾气处理装置相应机构的设置，利用砷化氢和磷化氢的特有性质，使其可以得到有效的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215800040 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122205947.4 (22)申请日 2021.09.13 (73)专利权人 江苏实为半导体科技有限公司

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