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本实用新型提供了一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机。其构造为：在漏斗的上端口处固定连接有陶瓷罐，在漏斗的上端口处、位于漏斗与陶瓷罐之间的位置固定连接有筛网，在漏斗的变径部下端固定连接有滤网，在漏斗的上端口内壁上固定连接有若干固定杆；筛网包括同心环，折角连接杆，挂环，所述同心环有若干个，在若干同心环之间固定连接有折角连接杆，在位于最外圈的同心环上固定连接有若干挂环；挂环挂接在固定杆上。本实用新型在漏斗的上端口处增设了由金属丝构成的筛网，使球石得以架高，使得DB胶可以快速与球石分开，直接通过漏斗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215823527 U
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202121310450.2
(22)申请日 2021.06.11
(73)专利权人 山东强茂电子科技有限公司
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