一种用于单晶硅晶圆拉制的耐用石英复投筒.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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一种用于单晶硅晶圆拉制的耐用石英复投筒.pdf

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本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的耐用石英复投筒，包括锥形料筒、碗型套和伞型罩，还包括支撑臂、凸起圈、第二螺栓和第一螺栓，所述锥形料筒内顶部依次排布碗型套和伞型罩，所述伞型罩位于碗型套的料口底部，所述锥形料筒底部排料口一侧罩设有弧形防溅罩，所述锥形料筒底部设有一圈与之一体的凸起圈。整体石英复投筒使用稳定高效，具备良好的物料缓冲机构，能够降低单晶硅投料时的冲击力，具有良好的防飞溅组件，以避免飞溅料对拉制的硅棒的粘覆，以保证硅棒拉制加工的品质，具有较高的实用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215800036 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121979758.6 (22)申请日 2021.08.23 (73)专利权人连云港保康石英制品有限公司