一种自动清理式HVPE过滤器.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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一种自动清理式HVPE过滤器.pdf

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本实用新型公开了一种自动清理式HVPE过滤器,包括：腔体，所述腔体顶部设有盖板，所述腔体底部设有底板，所述腔体中部安置有过滤芯，所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架和腔体的内壁固接，所述滤芯支架上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸，两个气缸的底部通过穿过滤芯支架的活塞固接有清粉块，所述清粉块呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸通过气路管线与电磁阀连接。本实用新型的有益效果是利用气缸的上下运动带动清粉块的运动，以防止粉尘堆积在过滤芯上从而造成堵塞。这样在HVPE生产过程中无需拆开过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215782285 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122012830.4 (22)申请日 2021.08.25 (73)专利权人镓特半导体科技(铜陵)有限公司