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本专利公开了一种界面材料低温热阻测量装置,装置包括真空腔体、测量单元、冷基板及降温冷指。两组或两组以上测量单元围绕冷基板中心做圆周阵列布置在冷基板上表面,每组测量单元分别与冷基板构成一维导热通道,通过稳态法测得其界面材料的热阻,组合起来整个装置可同时测得多组界面材料的热阻,通过对比法可以降低测量误差,提高测量的精度。本装置具有结构简单,精度高,测试时间短,测量温区可扩展至极低温,可靠性高等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215866466 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121352005.2
(22)申请日 2021.06.18
(73)专利权人 中国科学院上海技术物理研究所
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