一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置及单晶炉.pdfVIP

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2023-04-19 发布于四川
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一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置及单晶炉.pdf

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本实用新型涉及一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置，包括氩气加热管，氩气加热管套设在单晶炉的氩气进气管上，氩气加热管表面缠绕有加热丝，加热丝的一端通过导线连接在电源上，加热丝与电源之间还设有过热保护装置，加热丝的另一端通过导线与红外测温装置的输入端连接，红外测温装置的信号输出端连接有温控表，温控表通过导线与电源相连接，还涉及一种含有上述监测并控制氩气温度装置的单晶炉，该装置结构简单、精度高、稳定性好，可实现对氩气进行加热，监测并精确控制加热温度，从而减小温度不确定的氩气对炉内热场的影响。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215856448 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202121966052.6 (22)申请日 2021.08.20 (73)专利权人包