一种用于磷化铟单晶生长的装置.pdfVIP

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2023-04-20 发布于四川
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一种用于磷化铟单晶生长的装置.pdf

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本发明公开了一种用于磷化铟单晶生长的装置，包括筒体、承接座、加热器、坩埚托和石英管；筒体侧壁的顶部和底部分别开设有上、下气孔；筒体内侧设有两根竖直、且相对设置的导轨；筒体的顶部和底部分别使用上、下法兰面密封；承接座设在筒体内的下法兰上；加热器为四区的圆柱形电阻加热器；加热器的两侧分别通过连接件滑动连接在两根导轨上；承接座上设有电机，电机驱动加热器沿导轨上下移动；坩埚托安装在承接座上、且从加热器底部伸入加热器内侧，加热器可相对坩埚托上下移动；石英管位于加热器内侧的坩埚托上，石英管的顶部用石英帽密封

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215887311 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202121705867.9 (22)申请日 2021.07.26 (73)专利权人中锗科技有限公司地