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一种真空镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-04-20 发布于四川
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一种真空镀膜设备.pdf

    本实用新型提供一种真空镀膜设备，包括真空腔体、蒸镀材料加热部件、旋转支架和气体扩散部件；所述蒸镀材料加热部件、所述旋转支架和所述气体扩散部件设于所述真空腔体内；所述旋转支架设于所述蒸镀材料加热部件和所述气体扩散部件之间。本实用新型真空镀膜设备适用于结构复杂的镀膜部件，各个表面能够同时完成镀膜，从真空腔体内取出的镀膜部件无需后续处理。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218880030 U (45)授权公告日 2023.04.18 (21)申请号 202223481051.X (22)申请日 2022.12.26 (73)专利权人 上海德弘世恩科技有限公司 地址

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