工业自动化组件产业发展行动计划.docxVIP

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2023-04-21 发布于重庆
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工业自动化组件产业发展行动计划.docx

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工业自动化组件产业发展行动计划研究先进制造工艺方法、工艺基础数据库，研究并整合国内外制造工艺相关数据资源，建立健全制造基础技术数据库、基础制造工艺资源环境属性数据库等。研发基础数据采集工具和知识库管理系统和标准，开发面向基础工艺和典型产品全生命周期环境影响评价工具。研发干式光刻机产品并实现销售；研制28纳米浸没式光刻机产品，进入大生产线考核；开展配套光学系统、双工件台等核心部件产品研发，并集成到整机；构建关键技术与产品开发平台，提升光刻机自主创新能力；建设光刻机光学系统等关键部件生产基地，具备批量生产能力。我国制造业自身存在的问题（一）自主创新能力不强我国是制造业大国，但多数制造企