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本实用新型涉及一种单纵模F‑P激光器的沟槽结构,包括基片以及脊型波导,所述脊型波导位于所述基片的顶部,所述基片中设置有沟槽,所述沟槽设置于所述脊型波导的正下方,所述沟槽的排布方向与所述脊型波导延伸的方向倾斜布置。沟槽位于基片中,能够在基片各层的外延生长过程中采用紫外光刻机光刻形成沟槽,相较于直接在脊型波导上刻蚀,无需增加刻蚀深度,简化了工艺而且提高了成品率;而且掩埋结构的沟槽制备在更加接近有源区的位置,极大的提高了耦合效率,有利于实现更优异的选模特性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215896963 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202122326283.7
(22)申请日 2021.09.24
(73)专利权人 青岛翼晨镭硕科技有限公司
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