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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明涉及一种用于结晶样本(31)的带电粒子结晶学，特别是用于结晶样本(31)的电子结晶学的衍射仪(1)。衍射仪(1)包括：带电粒子源(10)，用于沿着带电粒子束轴(11)生成带电粒子束；带电粒子光学系统(20)，用于操纵带电粒子束，诸如以便利用带电粒子束照射样本；以及带电粒子检测系统(50)，至少用于基于透射通过样本的带电粒子束来收集样本(31)的衍射图案。衍射仪(1)还包括用于固持样本的样本固持器(30)和可操作地耦接到样本固持器(30)用于相对于束轴(11)定位样本(31)的操纵器(40)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113906536 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202080037920.4 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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