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一种反应烧结碳化硅大舟托的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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一种反应烧结碳化硅大舟托的制备方法.pdf

    一种反应烧结碳化硅大舟托的制备方法，素坯分开制作，干燥后精加工，后进行拼接，拼接过程中需要使用工装，烧结过程的变形控制：使用工装进行约束，烧成后的使用白刚玉24‑60目的材料进行粗喷，检测并标记有冷凝硅的地方，精细精品处理。本方案采用反应烧结碳化硅材料代替石英舟托盘，大大的延长了舟托的使用寿命，减少了停机更换频次；碳化硅材质较石英材质的强度高、导热性能好，对产品扩散性更好。素坯精细加工后进行卯榫结构拼接再烧结，使用石墨仿形工装进行支撑和约束，最终达到低成本生产高精度、高性能的反应烧结碳化硅材料的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113880582 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202110911054.3 (22)申请日 2021.08.10 (71)申请人 陕西

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