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本发明涉及一种沾黏吸附式异物去除装置，其主要是在基座上设置沾黏机构与吸附机构，沾黏机构中具有可自由升降活动且斜向设置的沾黏棒，吸附机构能外接抽气设备，且吸附机构的吸嘴位于沾黏棒侧边，且吸嘴的吸附口朝向沾黏棒底端的沾黏部，当沾黏吸附式异物去除装置应用于光罩等物件表面异物去除作业时，能以沾黏棒的沾黏部黏取物件表面的目标异物，其中利用斜向设置且能自由升降活动的沾黏棒碰触黏取目标异物时，利用沾黏棒反向上升的动作而减少作用于物件的作用力，避免物件受损，另外沾黏棒黏取目标异物脱离物件表面后，利用吸附机构直接
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113877891 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202010619986.6 (56)对比文件
(22)申请日 2020.07.01
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