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- 2023-04-21 发布于四川
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一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113906548 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202080036984.2 J ·胡金斯 Y ·S ·维什瓦纳坦
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