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振动装置和振动控制方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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振动装置和振动控制方法.pdf

    本发明提供一种能够高效地清洗附着于透光体盖的异物的振动装置和振动控制方法。该振动装置具备：透光体盖；喷出部，其向透光体盖的表面喷出液体；以及第1振动部，其使透光体盖以大于8.0×105m/s2且为21.0×105m/s2以下的振动加速度振动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113891820 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202080015259.7 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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