原创力文档- 4
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- 2023-04-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种半导体晶圆用的输送装置，涉及半导体加工技术领域。本实用新型包括回形传送带伸缩组件、下固定组件以及上固定组件，所述回形传送带一侧设置有若干机械手组件，回形传送带上设置有若干伸缩组件，伸缩组件上设置有下固定组件，下固定组件上方设置有上固定组件。固定基座的凹槽从顶端到底端尺寸逐渐减小，适应不同尺寸的晶圆片，可输送不同尺寸的晶圆片；固定基座凹槽最底端是圆锥状凹槽，可放置晶圆棒底端，当伸缩组件带动下固定组件运动时，上固定组件中固定块随之运动，固定块一侧接触晶圆棒外壁，并对其固定，可运输
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218878674 U
(45)授权公告日 2023.04.18
(21)申请号 202223228508.6
(22)申请日 2022.12.03
(73)专利权人 江苏泰柯伟尔自动化设备有限公
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