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通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁.pdf

    本发明公开一种清洁组合件。所述清洁组合件包含衬底。一或多个图案形成于所述衬底的底侧上。当所述衬底定位于夹具上时，所述一或多个图案内的一或多个结构经由静电吸引或机械捕集中的至少一者从所述夹具吸引一或多个颗粒。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113906549 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202080040628.8 Y ·于齐耶尔　A ·帕希玛　 (22)申请日

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