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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明涉及压强探测装置技术领域，具体涉及一种高灵敏气体压强探测装置，包括衬底层、第一导电部、第二导电部、光敏半导体部、弹性部、贵金属部、第一电极、第二电极、第一绝缘部、第二绝缘部。应用时，将本发明置于待测环境中。第一导电部和第二导电部分别通过第一电极和第二电极连接外电路的电压源和电流表，用以测量第一导电部和第二导电部之间的电流；同时，应用光照射光敏半导体部。通过测量外电路中电流的变化实现压强探测。本发明能够实现高灵敏度的压强探测，在压力、压强探测领域具有良好的应用前景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113932968 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111063203.1
(22)申请日 2021.09.10
(71)申请人 刘翡琼
地址 710
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