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具有可控金属蚀刻选择性的气相蚀刻.pdfVIP

具有可控金属蚀刻选择性的气相蚀刻.pdf

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    描述了一种用于干式去除微电子工件上的材料的方法。该方法包括接收衬底，该衬底具有暴露金属层的工作表面并且具有至少一种暴露于该金属层或在该金属层下方的其他材料；以及通过将该衬底暴露于含有无水卤素化合物的受控气相环境，相对于该其他材料有差别地蚀刻该金属层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113950735 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202080043113.3 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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