一种芯片测试设备.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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本发明公开了一种芯片测试设备,包括测试料盘运输轨道、次品盘运输轨道、测试模组和次品芯片抓取模组,所述测试料盘运输轨道和所述次品盘运输轨道平行地并排设置;所述测试料盘运输轨道包括测试料盘轨道架、安装在所述测试料盘轨道架上的料盘运输装置和料盘定位装置;所述次品盘运输轨道包括次品盘轨道架、安装在所述次品盘轨道架上的料盘运输装置和次品盘定位装置;所述测试模组包括测试主架和测试抓手,所述测试抓手可活动地安装在所述测试主架上;所述次品芯片抓取模组包括次品抓取运动架和次品吸盘模组。此芯片测试设备能够提升运送、

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113933681 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111073454.8 (22)申请日 2021.09.13 (71)申请人 深圳格芯集成电路装备有限公司

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