原创力文档- 12
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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明公开一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构。通过上述方式，本发明提供一种探针卡针脚修复整形装置，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113937593 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111112403.1
(22)申请日 2021.09.23
(71)申请人 吾拾微电子（苏州）有限公司
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