一种金属化薄膜的高效蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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本发明涉及金属化薄膜蒸镀技术领域,尤其涉及一种金属化薄膜的高效蒸镀装置,工作台上设置有蒸镀室,蒸镀室外接真空系统,蒸镀室的内部设置有对薄膜基材进行输送的传送机构、对薄膜基材的不需涂镀区域进行遮挡的隔离机构,隔离机构位于传送机构的下方,蒸镀室的内部设置有下钨丝组件和上钨丝组件。本发明中的金属化薄膜的高效蒸镀装置,蒸镀金属碎屑置于下钨丝组件和上钨丝组件形成的空腔中,转动的下钨丝组件和上钨丝组件使内部的金属材料滚动,通过使蒸镀金属碎屑与加热钨丝与之间充分接触,提高金属的熔化速率,进而提高蒸镀的效率;且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113930729 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111118324.1 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 铜陵市超越电子有限公司

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