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                本发明公开了一种柔性并联的多自由度空间微振动装置,包括微振动传动支链机构、传感器安装机构及平面2PP驱动机构等。微振动传动支链机构包括三个呈120度均匀分布的运动支链,每个运动支链包含一个平面2PP驱动机构,每个平面驱动机构包含压电陶瓷驱动器、椭圆柔性单元组和直梁柔性单元组。通过六个压电陶瓷的充放电,驱动三个平面2PP驱动机构运动,同时通过三组单轴转动柔性单元和三组三轴转动柔性单元,实现空间微振动装置的多自由度空间位姿运动,通过压电陶瓷的高频输入,实现MEMES惯性传感器的微振动校准。
                    
   (19)中华人民共和国国家知识产权局 
                             (12)发明专利申请 
                                                     (10)申请公布号 CN 113945228 A 
                                                     (43)申请公布日 2022.01.18 
   (21)申请号  202111244255.9 
   (22)申请日  2021.10.26 
   (71)申请人  北京工业大学 
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