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一种刀具颤振状态的在线检测装置.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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一种刀具颤振状态的在线检测装置.pdf

    本发明提供了一种刀具颤振状态的在线检测装置，包括双频激光干涉仪、第一分光棱镜、激光干涉仪Y向测量单元、激光干涉仪X向测量单元、第三分光棱镜、二维光栅、二维光栅衍射结构单元、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元、光栅X向位移测量单元、第三反射镜、二维光栅和第六反射镜。通过激光干涉仪Y向测量单元和激光干涉仪X向测量单元测量第三反射镜和第六反射镜的位移，将位移作为刀具的位移对照数据，通过二维光栅、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元和光栅X向位移测量单元得到基于光栅测量原理得到的刀具位移基

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113932909 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111157590.5 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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