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- 2023-04-23 发布于四川
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本发明的观察系统(1)具备：检测器(3)、二维相机(5)，它们检测来自半导体器件(S)的光并输出检测信号；光学装置(13)，其将光导引至检测器(3)及二维相机(5)；图像处理部(29)，其基于检测信号，生成半导体器件(S)的第一光学图像，且受理第一CAD图像的输入；图像解析部(31)，其将第一光学图像用作教学数据，通过机器学习来学习第一CAD图像的转换处理，通过基于该学习的结果的转换处理，而将第一CAD图像转换为与第一光学图像相似的第二CAD图像；及位置对准部，其基于第二光学图像与第二CAD图像
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113994372 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202080041571.3 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限
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