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- 2023-04-23 发布于四川
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本发明公开了一种pGMA聚合物薄膜的制备方法,包括如下步骤:1)将GMA作为单体装入iCVD设备的单体原料罐中,将DTBP作为引发剂装入iCVD设备的引发剂原料罐中,将待制备的样品放置在样品台上;2)加热单体和引发剂产生蒸汽;3)将加热丝加热,旋转样品台并通入冷却水,使待制备样品表面保持低温;4)将单体蒸汽和引发剂蒸汽通入真空反应腔,引发剂蒸汽在加热丝的高温作用下充分裂解诱导GMA单体聚合,在冷却的待制备样品基底表面沉积形成pGMA薄膜。本发明的制备方法,通过设置合适的温度能够避免过高的温度导致
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113967576 A
(43)申请公布日 2022.01.25
(21)申请号 202111463329.8
(22)申请日 2021.12.02
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
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