原创力文档- 0
- 0
- 约1.18万字
- 约 10页
- 2023-04-23 发布于四川
- 举报
本发明提出了一种声表面滤波器的键合方法及其键合结构。所述键合结构包括第一键合金属层、第二键合金属层和第三键合金属层；所述第三键合金属层设置于所述声表面滤波器的盖板下表面的键合面上；所述第一键合金属层设置于所述第三键合金属层非盖板一侧的表面上；所述第二键合金属层设置于所述声表面滤波器的基体上表面与所述盖板进行键合的键合面上；所述第一键合金属层上设有多组键合凹槽；所述第二键合金属层上设置有与所述键合凹槽形状和数量相同，但高度与所述键合凹槽深度尺寸不同的多组键合凸起。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113972900 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202111575188.9
(22)申请日 2021.12.22
(65)同一申请的已公布的文献号
文档评论（0）