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一种带有双工位旋转载片装置的光刻机.pdfVIP

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  • 2023-04-23 发布于北京
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一种带有双工位旋转载片装置的光刻机.pdf

    本发明属于光刻机领域，具体的说是一种带有双工位旋转载片装置的光刻机，包括载物台，所述载物台上表面的右侧固定连接有操作台，所述操作台内腔的左侧通过线路固定连接有光刻钻头，所述光刻钻头的下表面与载物台的上表面固定连接，所述光刻钻头的内腔通过线路固定连接有旋转工作台，所述旋转工作台的下表面与载物台的上表面固定连接。与一般的工艺流程相比，使用该装置加工晶圆，在加工时，晶圆原料不仅保持相对稳定的状态，晶圆原料也不会发生位置的偏移，不需要校对，紧固流程与取件流程也进行了简化，使用者只需要通过操作台控制轴杆伸

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113985704 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111172065.0 (22)申请日 2021.10.08 (71)申请人 刘燕 地址 3118

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