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本发明提供一种复合面型的X射线压电变形镜，包括基底和设于所述基底的上方的光学反射膜，所述光学反射膜的上表面划分为两个镜面，所述基底在其上表面、下表面和侧面中的至少一个总共设有至少两类压电陶瓷片，使得两个镜面各自在压电陶瓷片的带动下产生所需的两种不同的面型。本发明的复合面型的X射线压电变形镜将基于压电驱动的主动光学技术和多面型组合的掠入射X射线反射镜系统集成起来，当施加电压平行于每块压电陶瓷片的电极化方向时，压电陶瓷片的横向方向的压电伸缩可以带动随镜长变厚度的光学基底的伸缩来产生沿镜长子午方向所需
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113972023 A
(43)申请公布日 2022.01.25
(21)申请号 202111233251.0
(22)申请日 2021.10.22
(71)申请人 中国科学院上海高等研究院
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