1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

等离子清洗方法及等离子清洗机.pdfVIP

  • 11
  • 0
  • 约1.41万字
  • 约 13页
  • 2023-04-23 发布于北京
  • 举报

等离子清洗方法及等离子清洗机.pdf

    本发明公开了一种等离子清洗方法及等离子清洗机，等离子清洗机具有清洗腔和与清洗腔连通的气源装置，气源装置能够输出多路不同类型气源，等离子清洗方法包括以下步骤：接收清洗指令时，对清洗腔抽真空，并获取清洗腔内的气压值；在清洗腔内的气压值达到气源类型对应的第一预设通气气压值时，控制气源装置向清洗腔内通入对应气源类型的气体，并开始计时；在计时时间达到当前通入清洗腔内气体的气源类型对应的预设通气时长时，对清洗腔内的气体进行电离，以清洗待清洗产品。本发明通过本发明通过在清洗腔内的气压值达到对应的第一预设通气气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113976546 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111148870.X (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 深圳泰德半导体装备有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >