激光电子束离子束三束区别.docx

电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。 顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性。 电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。 顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素 注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性 电子束聚焦点最细最深，激光束次之，离子束最粗。电子束聚焦直径（打孔）最小可以小于 1um。 电子束由电子组成，而离子束一般由金属粒子组成，本质的原理是一样的。都有溅射作用， 对样品损伤也没一定的规律。但对于石英材料来讲，损伤很明显。电子束不会造成成分污染， 但 离 子 束 会 ， 相 当 于 离 子 注 入 。 美困伊利诺斯州拉格兰奇通用汽车公司用激光浮火的转向器充体切酣图内 壁上的黑线是滓硬带的电动分部用五台 3~ 4 千瓦的激光热处理设备处理柴油发动机的汽缸衬套，并准备扩大应用范围 处理即座、齿轮、曲轴及活寒槽沟等。美匡福特汽车公司用4