高功率 GaN 基 LED 器件的研究现状与发展
1、引言
自从 1962 年美国通用电气公司的 Holonyak 博士发明了世界上第一支发光二极管(LED)[1]以来,使
LED 发出全部颜色可见光的努力就没有停止过。AlGaInP 材料制成的 LED 可以覆盖从红光(650nm)到黄光(580nm)的范围。1993 年,日本的 Nakamura 解决了 p 型 GaN 的掺杂问题,成功研制出了 GaN 基蓝光 LED,在此基础上采用 AlGaInN 制作的 LED 光谱覆盖了从近紫外(380nm)到绿光(530nm) 的范围[2]。现在,LED 覆盖了几乎所有可见光的范围。LED 得到了广泛的应用。
GaN 基 LED 器件的发展和主要应用
1993 年,Nichia 公司研发出第一个发光亮度超过 1cd 的高亮度 GaInN/AlGaN 异质结蓝光 LED 后[3],随着金属有机气相沉积外延技术(MOCVD)的提高,高亮度高功率的 LED 产品相继被开发出来。LED 产品一共有两种,如图 1(a),(b)所示,一种是小管芯 LED,管芯功率在 0.06W 左右,芯片大
小 350μm×350μm ,另一种是大管芯 LED,管芯功率 1-3W,芯片大小 1mm×1mm。近些年,LED 的光效更是从 50~60lm/W,发展到了去年的小功率 LED 最高超过 170lm/W,大有
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