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一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备.pdfVIP

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  • 2023-04-23 发布于北京
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一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备.pdf

    本发明公开一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。本发明可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，药水废液可从螺旋推进器上的导流孔内翻越，而螺旋

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113968598 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111496004.X (22)申请日 2021.12.08 (71)申请人 迈达微（深圳）半导体技术有限公司

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