一种多孔钨结构的晶体制备装置及氮化铝晶体制备方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种多孔钨结构的晶体制备装置及氮化铝晶体制备方法.pdf

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本发明实施例公开了一种多孔钨结构的晶体制备装置，包括：坩埚盖、坩埚、锥形台、隔气环和多孔钨圆筒；其中，所述多孔钨筒放置在所述坩埚内并与所述坩埚同心，所述多孔钨简的外壁与所述坩埚的内壁围成的空间用于放置氮化铝粉；所述隔气环置于所述多孔钨筒上，用于覆盖所述多孔钨筒的外壁与所述坩埚的内壁围成的空间；所述锥形台置于所述隔气环上，所述坩埚盖放置在所述坩埚上，并在所述锥形台上方粘贴氮化铝籽晶，以在加热状态下使氮化铝籽晶生长为氮化铝晶体。通过对氮化铝晶体生长坩埚内部结构及材料的优化，实现了氮化铝原料升华速率稳

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981539 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111281070.5 (22)申请日 2021.11.01 (71)申请人深圳大学地址 51