材料检测表征方法之扫描电镜.pdf

材料检测表征方法之扫描电镜 自从1965年第一台商品扫描电镜问世以来，经过 40 多年的不断改进，扫描 电镜的分辨率从第一台的 25nm 提高到现在的 0.01nm，而且大多数扫描电镜 都能与X射线波谱仪、X射线能谱仪等组合，成为一种对表面微观世界能够 经行全面分析的多功能电子显微仪器。 在材料领域中，扫描电镜技术发挥着极其重要的作用，被广泛应用于各种材 料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。利用扫 描电镜可以直接研究晶体缺陷及其产生过程，可以观察金属材料内部原子的 集结方式和它们的真实边界，也可以观察在不同条件下边界