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- 2023-04-23 发布于四川
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本发明提供一种星载MEMS光束控制摆镜的地面筛选测试装置及方法。包括一个用于放置被测星载MEMS光束控制摆镜的真空罐、收发天线、光束分析仪、光束分析仪控制上位机、检测光激光器检测光发射光纤与光束分析仪位于收发天线的焦点处；所述检测光激光器用于发射检测光并通过检测光发射光纤发射至收发天线，所述收发天线用于接受检测光发射光纤发出的检测光将其发射至被测星载MEMS光束控制摆镜，并接收被测星载MEMS光束控制摆镜的反射光将其发射至光束分析仪，所述光束分析仪将接收到的光束光斑位置信息发送到进行光束分析仪控
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113967608 B
(45)授权公告日 2022.04.26
(21)申请号 202111578669.5 (51)Int.Cl.
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