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本发明涉及通过硼前体的热处理的氮化硼纳米管的制造方法及装置。根据本发明的一实施例，氮化硼纳米管的制造方法包括：在设置于反应腔室的前端的投入腔室收容多个反应模块的步骤，上述多个反应模块收容贯通设置有至少一个前体块的托架；向反应腔室的反应区移送收容于投入腔室的多个反应模块中的N个反应模块的步骤；在反应腔室中以所设置的时间驱动反应区来使氮化硼纳米管在前体块生长的步骤；以及若所设置的时间结束，则从反应腔室向设置于反应腔室的后端的排出腔室移送N个反应模块的步骤。根据本发明，具有可使氮化硼纳米管(BNNT)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113973495 A
(43)申请公布日 2022.01.25
(21)申请号 202080001725.6 (74)专利代理机构 北京铭硕知识产权代理有限
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