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基板搬运装置.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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基板搬运装置.pdf

    本发明的基板搬运装置具备：基座；臂；末端执行器，设置于臂的前端，并具有分支为两股的第1前端部和第2前端部；发光部；受光部；以及控制装置，控制臂的动作。控制装置控制臂的动作，使得在末端执行器的前端前进的光扫描容纳于FOUP的多张基板的边缘，并且根据在臂的动作中光与基板的相对的位置关系，比较在受光部连续地变化的输出值的测定波形的形状图案与比较用的基准波形的形状图案，并基于比较结果，诊断基板的状态、FOUP的状态以及末端执行器的状态中的至少一个状态。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114008745 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202080045909.2 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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